走出中关村 京津联手推动中国先进制造大跨越

　　中新社北京7月15日电　　中新社记者 陈建

　　走出院士云集的老校园，暂别日渐拥挤的北京城，到全国先进制造研发基地——天津去建实验室、研究所，创办“产学研用”紧密对接的高科技公司，逐渐成为北京顶尖高校科技创新领军人才的共同选择。

　　驱车驶入科创慧谷(天津)园区，5栋欧式建筑一字排开。清华大学天津高端装备研究院(简称“高端院”)就坐落在那里。

　　这家清华大学的外派专业研究院，以高端装备设计、制造和技术服务为切入点，落户天津一年多来，已经成立了21家研究所，1家研究室，3家联合研究中心，以实际行动践行京津冀协同发展的国家战略。

　　50岁出头的路新春是机械工程系研究员，摩擦学领域的“长江学者”，学术地位仅次于“院士”。他不仅出任“高端院”副院长，还率领团队，自主研发生产出用于制造超大规模集成电路的关键装备——国产首台12英寸化学机械抛光机。

　　如今，这台价值300多万美元的抛光机，正在位于北京亦庄、中芯国际的大型生产线上运转着。此前，全球只有一家美国公司和一家日本企业有能力生产这种装备。

　　“只要学校(清华大学)没事，我都在天津”，路新春说。

　　他戴上手套，拿起一片12英寸的晶元向记者解释道：用化学机械抛光机对晶元表面做平坦化处理，使晶元达到当今集成电路工艺光刻所要求的28-14纳米的线条宽度，“学问可大着呢！涉及我们自主研发的专利就超过130项。抛光到什么程度才叫均匀？打个比方，相当于把足球场那么大的地方，抛光到高度差小于1毫米。”